STR-ST5000硅料、硅棒、硅片检验系统

一、系统简介

太阳能电池组件的上游是硅料、硅棒、硅片的生产，在生产和研发过程中需要对硅料、硅棒、硅片的质量进行严格的把控。本测试系统为您提供最全面的硅料、单晶硅片、多晶硅片等成套检验设备及最优解决方案。通过对硅料硅片硅棒型号、电阻率、少子寿命、氧含量、碳含量等指标的综合评定，为您减少硅料采购或销售的风险，是科研人员进行光伏发电高端研究的必备设备。

二、测试项目及检验标准

四、主要测试设备简介

1、无接触式电阻率型号测试仪

基于涡流（Eddy Current）测试技术，能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。

■ 测试范围广，低阻可测至0.001ohmNaN，甚至0.0007hm.c,高阻可测至100ohm.c
■ 采用涡流法测试硅锭、棒、回炉料体电阻率
■ 无接触、无损伤快速测试

■ 可进行温度和厚度的修正
2、无接触少子寿命扫描测试仪

无接触少子寿命扫描测试仪，能够对单晶硅棒、多晶硅块及硅片提供快速、无接触、无损伤、高分辨率的多功能扫描测试。一方面，其通过微波光电衰退特性原理来测量非平衡载流子寿命的；另一方面，通过近红外对硅材料的光学特性，探测缺陷。并且单晶硅棒、多晶硅块无须进行特殊处理。

■ 少子寿命及缺陷同时测量
■ 无接触和无损伤测量
■ 自动测量，具有传送系统，可进行连续测量

■ 测试范围广：包括硅块、硅棒、硅片等
3、硅料检测分选仪

硅料检测分选仪可以快速准确检测硅料的P/N型号、重掺、电阻率和电流。

■ P/N型号：可以显示被测材料的导电类型。
■ 重掺测量：有报警声音提示重掺。
■ 电流测量：带电流表，可以排查“有电阻无电流”的硅料

■ 集重掺夹（镊）、三探针、四探针于一体，能够测量所有类型的硅料
■ 重掺镊：主要针对小碎料、米粒料和各种细小废料
4、氧碳测试仪

硅材料氧碳含量测试仪器，所测硅料、硅棒、硅片氧、碳含量，自动、快速、准确，可靠性高，稳定性好，一致性佳，ASTM 线性度对 0.0 % T 的偏离小于 0.07 % T，还可以进行电池片及半导体进行膜厚分析，BPSG分析,PSG分析，FSG分析，SiN/SiON分析。

5、红外探伤测试仪

    红外探伤测试仪是专门用于多晶硅片生产中的硅块硅棒硅片的裂缝、杂质、黑点、阴影、微晶等缺陷探伤的仪器。

6、金属四探头电阻率方阻测试仪
    金属四探头电阻率方阻测试仪是用来测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器.本仪器按照半导体材料电阻率的国际及国家标准测试方法有关规定设计。

7、光谱椭偏仪

光谱椭偏仪针对太阳能电池应用，可测量多晶硅/单晶硅绒面表面单层（二层或多层）减反射膜、和玻璃/有机基底上的薄膜太阳能电池。针对太阳能电池应用的光谱椭偏仪基于最佳的椭偏光路设计，高灵敏度探测单元和光谱椭偏仪分析软件，可测量各种太阳能电池的薄膜厚度和光学常数，光学带宽等。